グラファイトボート切断：半導体および太陽光発電用途における精度、一貫性、信頼性

グラファイト切断技術 / 1TP3タストラ%

直径12インチの半導体拡散炉における単一の黒鉛ボートの破損は、ウェーハバッチ全体をスクラップさせ、計画外のライン停止を引き起こし、数日間続く根本原因調査を強制する可能性があります。その規模の歩留まり損失は、材料品質の問題ではありません。かなりの割合のケースでは、その破損はボート自体に起因するのではなく、

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