cutting damage

グラファイトスライシング応力は、機械的切断の避けられない結果ですが、管理することは可能です。ブレードまたはワイヤーがグラファイトビレットを通過するたびに、完成したウェーハに残留応力を発生させる機械的力が生じます。制御されないグラファイトスライシング応力は、反り、微細亀裂、および寸法不安定性を引き起こし、ウェーハを […] に使用できなくする可能性があります。