Cắt Thuyền Graphite: Độ Chính Xác, Tính Nhất Quán và Độ Tin Cậy trong Ứng Dụng Bán Dẫn và Quang Điện
Một lỗi duy nhất của thuyền graphite trong lò khuếch tán bán dẫn 12 inch có thể làm hỏng toàn bộ lô wafer, gây ra thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch của dây chuyền và buộc phải điều tra nguyên nhân gốc rễ kéo dài nhiều ngày. Tổn thất năng suất ở quy mô đó không phải là vấn đề chất lượng vật liệu. Trong một phần đáng kể các trường hợp, lỗi không bắt nguồn từ chính chiếc thuyền, mà