흑연 슬라이싱 응력: 원인, 영향 및 절단 유발 손상 제어 방법
흑연 절단 응력은 기계적 절단의 피할 수 없는 결과이지만 관리할 수 있습니다. 블레이드나 와이어가 흑연 빌렛을 통과할 때마다 잔류 응력을 생성하는 기계적 힘이 발생합니다. 제어되지 않은 흑연 절단 응력은 웨이퍼를 사용할 수 없게 만들 수 있는 뒤틀림, 미세 균열 및 치수 불안정을 유발합니다.
흑연 절단 응력은 기계적 절단의 피할 수 없는 결과이지만 관리할 수 있습니다. 블레이드나 와이어가 흑연 빌렛을 통과할 때마다 잔류 응력을 생성하는 기계적 힘이 발생합니다. 제어되지 않은 흑연 절단 응력은 웨이퍼를 사용할 수 없게 만들 수 있는 뒤틀림, 미세 균열 및 치수 불안정을 유발합니다.